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激光矢量分步对角线法是根据沿每个轴方向测量到的数据仅仅是由于沿该轴方向运动独立产生的,这样就可以将所测量到的误差数据分离......
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三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠......
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