压电陶瓷电机相关论文
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提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像，以弥补光学显微镜分辨率的不足。利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像。......
压电陶瓷电机具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性,具有体积小、结构紧凑、成本低、输出力大、响应快、精度高、无电磁干扰等特......
压电陶瓷电机是利用压电陶瓷材料激发超声波实现驱动的一种新型电机,具有低速下大力矩输出、无电磁干扰、静音操作、保持力矩大、......
简要介绍压电陶瓷电机的工作原理及性能,分析了压电陶瓷电机用于数控齿轮测量仪器上的优缺点,通过实际应用验证了压电陶瓷电机可以......
三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠......
