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刚性固定型相关论文
可刚性固定MEMS矢量水听器的设计
针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型......
期刊
微电子机械系统(MEMS)
矢量水听器
差分结构
刚性固定型
加速度灵敏度
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