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改善PECVD制程良率的方法初探
研究对PECVD制成良率进行改善和优化的方法,在PECVD中,Active在Gate膜的上方,Gate膜属于金属膜,设置在玻璃基板之上,而Active膜属......
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PECVD
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TFT-LCD点缺陷的分析与研究
TFT-LCD作为一个新兴的高科技行业,具有全面取代目前CRT显示器的趋势。目前存在的问题是生产流程复杂,生产过程中不良过高造成的成......
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