刻蚀产额模型相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

刻蚀产额模型相关论文

基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法

随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特......

期刊

产额离子刻蚀刻蚀产额模型刻蚀速率多目标进化算法等离子体刻蚀优化建模刻蚀工艺模型参数均方差

结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法

刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻......

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