剥层曲率半径法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

剥层曲率半径法相关论文

全自动薄膜应力仪

基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了......

期刊

薄膜应力测试仪应力测试剥层曲率半径法残余应力

一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法，并设计了一套光杠杆系统，可以精确测量镀膜样品因薄膜存在残余应力而造......

期刊

硬质薄膜残余应力测量方法剥层曲率半径法

看过本文同时还关注