剥离工艺相关论文
集成电路是信息社会的基础设施,集成电路制造的核心工艺是光刻工艺,光刻胶的国产化是我国集成电路产发展的重要保障。本文介绍了HT......
电子束曝光技术是制备纳米精细结构的关键技术,在纳米科学研究、微纳原型器件制备、生物医学等领域具有广泛的应用。本论文以电子......
随着科技的发展,微流控技术已逐渐成为科研工作者研究生物、医药、化学等领域中不可取代的技术手段。由于数值仿真技术及相关理论......
摩擦和磨损在日常生活和各种工业应用中随处可见,摩擦引起的磨损会导致包括表面损坏以及设备性能和可靠性的下降在内的各种问题。......
磁性隧道结磁场传感器作为一种非接触式传感器,在自动化技术、卫星定位、精密测量等领域有着广泛的应用,目前在磁阻变化率等磁性能......
金刚石作为新兴的超宽带隙半导体材料的代表之一,具有载流子迁移率高、导热系数高等一系列优点。在金刚石材料研究方面,目前高品质......
金属纳米线因其在电学、磁学、光学研究领域具有较为独特的性质,近年来被国内外学者采用多种方法制备,并且应用在越来越广泛的领域......
随着MEMS的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的......
玉石矿床学是连结玉石地质学与石鉴定、评估以及优化处理合成等研究内容的纽带,是个年轻的学科,且有很多的领域处于研究的空白区域......
研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性.结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全......
对用涤锦复合超细纤维制成的高吸水毛巾的碱解剥离工艺进行了研究.结果表明:用2%NaOH水溶液进行复丝剥离,其剥离效果除受NaOH浓度......
美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆......
针对倾斜煤层的特点,对比连续工艺、半连续工艺及间断工艺等的优缺点,着重分析了半连续工艺和间断工艺各自完成的剥离量;选择较经......
本实验中首次采用铜材料作为声表面渡驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较，得到铜材料相比于铝材料的优点。......
研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图......
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆......
给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风......
为了优选出经济合理、技术可行的露天矿剥离工艺,根据露天剥离工艺影响因素,建立基于层次分析法的露天剥离工艺比选指标体系,并应......
为了保证露天煤矿的原煤生产能力，提高拉斗铲的作业效率，在对拉斗铲单区作业时间及拉斗铲生产能力的统计数据做出详细分析的基础上，得......
论文以霍林河一号露天矿扩建工程开采工艺的优化为例，分析了单斗一卡车工艺向半连续工艺过渡的技术、经济可行性，得出了半连续工艺是......
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同......
随着科学技术的不断进步,热流的测量受到了广泛重视,用于热流测量的传感器也得到了广泛研究。薄膜技术的广泛应用推动了薄膜热流传......
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量......
表面传导电子显示（SED）的关键部分是下基板（即阴极板）的制作,而阴极板上薄膜电极的质量直接影响了阴极电子发射的性能。本文研究了采用......
我国铝矿开采现状我国铝工业自解放以来,从无到有得到很大发展。铝矿开采自1954年开始,产量大幅度增加,1979年的产量约为1954年的......
根据平朔东露天矿地形地质特征、岩层、煤层的赋存特点和气候条件等，分别针对上部松散层（黄土层）、4号煤层以上岩石层、煤层间岩石层......
研究了AZ－1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术，并对一些机理性问题进行了讨论。......
给出了一种多层膜巨磁电阻(GMR)磁场传感器,利用剥离工艺将其制作在SiO2/Si衬底上,该传感器芯片主要由4个多层膜巨磁电阻连接形成......
市场上的热流密度传感器大多仿制国外的产品,对于高温情况下的热流密度测量大都由国外厂商提供,尤其用于飞行器的高温瞬态热流密度......
作为一种声波传感器，Love波传感器以能够在液相环境下检测、质量灵敏度较高、结构稳固、工艺简单等优点得到了众多研究人员的青睐。......
针对当前无线信息传输频谱不断扩展,可用频段日益压缩的问题,太赫兹(THz)技术逐渐成为解决该问题的有效手段之一。THz频谱介于微波......
三月,FSI国际有限公司董事长兼首席执行官Don Mitchell来到上海,向业界宣布FSI推出一项新的研发成果,这项新的镍铂剥离工艺将帮助......
报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127．8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对......
伊敏露天矿现对剥离工艺进行改造,通过采用连续系统代替部分单斗-卡车系统。针对初步设计与生产实际的采区时空关系的变化,通过对......
研究了轮斗开采工艺在塔尔煤田Ⅱ区块露天煤矿三期工程应用的可行性,结合岩层特征,针对表土松散层剥离工程,分析了单斗-卡车工艺与......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶,光刻胶顶层形成一层有利于剥离......
研究了AZ-5214胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术。用扫描电镜和台阶仪测试制作出的光刻胶断面呈倒台面,......
为了解决磁控溅射膜的剥离问题,该文研制了一种新型的双层胶剥离技术。通过调整双层光刻胶的坚膜时间、坚膜温度和显影时间,制备出......
期刊
本文主要叙述了单层胶剥离工艺及其原理,并对这项技术的关键问题进行了分析.文章还报导了剥离技术在Pb合金约瑟夫逊隧道结中的应用......
砷化镓微波单片集成电路(GaAs MMIC)是应用于高频、高速、高功率环境下的集成电路,它的主要制造工艺有：异质结双极型晶体管(HBT)、......
针对伊敏露天矿在采区扇形推进过程中采用单斗-卡车生产工艺带来的开采成本攀升、劳动效率低、环境污染大等问题,提出了轮斗连续工......
相控阵天线用铁电薄膜微带线移相器可靠性高、抗辐射性能好、驱动功率低、体积小、成本低，是国内外军事机构和科研组织研究的热点之......
铁电薄膜介质移相器相比较其它类型的移相器具有成本低、体积小、抗辐射、驱动功率低、可靠性强等优点而备受人们青睐,是军用雷达......
相控阵天线用铁电薄膜移相器具有速度快、驱动功率小、功率容量大、可靠性好、抗辐射性好及成本低等优点,是目前各国军事机构和科......
GaN是最有前景的直接跃迁宽带隙半导体材料之一，它具有优良的光电性质和优异的机械性能，被认为是制备短波长光电子器件的最佳材料之......
