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功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究
用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的碳薄膜样品.测量了2.0~5.0eV光子能......
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carbon film spectroscopic ellipsometry chemical
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