掺氧半绝缘多晶硅膜具有半绝缘性和电中性，用ＳＩＰＯＳ膜进行表面钝化可屏蔽外电场和表面电荷的影响。该文分析了ＳＩＰＯＳ的钝化原理，利用ＳＩＰＯＳ膜和ＳｉＯ〈，２〉膜双......