单晶棒相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

单晶棒相关论文

硅单晶晶向偏离方向的确定方法

<正> 为了获取较快的外延生长速率及减少层错,作外延衬底用的硅片需要离取向(111)面偏离一个角度。例如,作TTL数字集成电路用的(11......

期刊

硅单晶定向仪中心点内圆切片机硅单晶片单晶棒晶向偏离确定方法

多线切割加工中单晶硅片晶向影响关系研究

单晶硅片的晶向是大规模集成电路衬底材料的一个重要参数。硅片的晶向是根据单晶的生长晶向以一定的角度粘结固定到多线切割机的工......

期刊

单晶硅片晶向多线切割单晶棒

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