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<正> 为了获取较快的外延生长速率及减少层错,作外延衬底用的硅片需要离取向(111)面偏离一个角度。例如,作TTL数字集成电路用的(111)硅片需要晶向朝着(110)晶面有3±0.5度的偏离。作其他半导体器件用的硅单晶片的晶向亦有各种不同的偏离要求。下面介绍几种(111)硅单晶片偏离方向的确定方法。 1.根据晶体的生长棱线来定向及切割向〔110〕偏离的(111)硅片众所周知,表现单晶方向性的一个最明显的几何特征就是单晶棒的棱线。按〔111〕方向生