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卷对卷纳米压印相关论文
卷对卷纳米压印脱模过程的有限元模拟
本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力。选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋......
期刊
卷对卷纳米压印
脱模
有限元分析
变形
等效应力
卷对卷纳米压印实验平台的研制及其关键技术研究
纳米压印具有高分辨率、高产量、低成本的优点,开辟了各种纳米器件生产的广阔前景,展示了广阔的应用领域,已被纳入国际半导体蓝图(ITR......
学位
卷对卷纳米压印
脱模
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有限元
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