压力敏感结构相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

压力敏感结构相关论文

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压阻式小量程SOI压力敏感结构仿真分析

针对小量程MEMS压力传感器存在提高灵敏度与降低非线性相互制约的问题,利用板壳理论对小量程压力敏感结构进行了仿真分析,给出了兼......

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