SOI技术相关论文
压力传感器是MEMS传感器的重要研究方向之一,电容式压力传感器具有尺寸小、结构简单、温度漂移小、灵敏度高等优点,在航空航天、工......
０１硅压阻压力传感器因航空测试技术的要求而得到重视与发展，研究人员曾开发研制出中国第一只压阻压力传感器。然而普通的硅压阻压力传......
在过去十年中，MEMS技术的快速发展为实现分析仪器的微型化，集成化，智能化，降低分析仪器的成本提供了新的机遇和技术支持。低电压电泳芯......
本文结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条......
本文描述了用于制作三维集成电路（３Ｄ－ＩＣ）的激光再结晶工艺的实验装置和工艺过程，报道了反射条结构样品的单条扫描定域再结晶的实验结果并作......
荷兰PhilipsSemooconductors公司计发出了采用SOI（silicononinsulator）制造工艺的数字（D级）音频功放TDA8920。以往的AB级功放的效率只......
SOI是“Silicon-on-insulator”的简称,中文译为“绝缘体上的硅”。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料......
阵列波导光栅(AWG)解调是一种新型光纤光栅(FBG)解调方法，可同时用于静态或动态信号的测量，有利于实现多点传感信号的准分布式测量。......
Lattice公司的Cross Link-NX系列是有各种应用的低功耗FPGA,支持各种高带宽传感器和显示器接口,视频处理和机器学习推理.采用低功......
在绝缘物上形成硅晶层的SOI(绝缘体上的硅)工艺是将来诸如三维电路之类的超大规模集成电路的基础技术。除此而外,还打算把它用于......
前言 特征尺寸不断缩小,每块芯片上的元件数目不断增加,这是硅集成电路(IC)发展的基本趋势。目前商品化VLSI芯片的最小特征尺寸大......
自1977年以来,为了摸索离子注入半导体的新退火方法,各国学者进行了大量的研究工作。这种努力是从激光退火的研究开始的。激光与......
对Si_3N_4/SiO_2/Si多层膜系统对Ar~+激光的反射率进行了模型计算,设计了各种结构的抗反射条并且用CW—Ar~+激光对两种结构进行了......
在ＣＭＯＳ／ＳＩＭＯＸＳＯＩ电路制作中引入了自对准钴（Ｃｏ）硅化物（ＳＡＬＩＣＩＤＥ）技术，研究了ＳＡＬＩＣＩＤＥ工艺对ＳＯＩＭＯＳＦＥＴ单管特性和ＣＭＯＳ／ＳＯＩ电路速度性能的影响．实验表明，采用ＳＡＬＩＣＩＤＥ技术能有效地减小ＭＯＳＦＥＴ栅、源、漏电极的......
本文介绍了SOI技术的基本概念、主要优点、国内外研究现状等,着重介绍了SOI技术在抗辐照芯片制造方面的应用,介绍了辐照对电子器件......
０１硅压阻压力传感器因航空测试技术的要求而得到重视与发展，研究人员曾开发研制出中国第一只压阻压力传感器。然而普通的硅压阻压力传......
随着近年来光波导器件的发展,光波导型传感器逐渐成为众多应用中具有重要前途的平台。例如,环境保护、医疗诊断、生物制药等。由于......
SOI（silicon on insulator）技术在高速低功耗、微机械传感器、光电器件等方面具有重要应用，是微电子和光电子领域发展的前沿。作为粒......
随着微电子技术发展，SOI技术已由特种抗辐射应用扩展到射频功放，开关等领域。SOI LDMOS凭借速度快、线性度好、与CMOS工艺兼容及全介......
SOI技术除了具有抗辐照、耐高温的特性以外,还具有寄生电容小、小尺寸效应小、亚阈特性好等突出优点,天然地适合低压、低功耗集成......
论文在充分调研和分析国内外微悬臂梁传感器单片集成技术研究现状的基础上，提出了全新的基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案。......
随着集成电路特征尺寸缩小，体硅器件遇到了一系列问题，限制了器件尺寸进一步缩小。SOI技术能有效地克服体硅材料的不足，充分发挥硅集......
经过几十年的发展，微电子机械系统(MEMS)已经成为继集成电路之后，微电子技术服务于人类的又一伟大发明。因为MEMS产品具有尺寸小、重......
该文利用SIVACO的工艺和器件模拟软件,对SOI SiGe HDTMOS作了完整的理论研究.首先,分析了DTMOS的工作原理,介绍了DTMOS的静态、动......
等离子体显示平板(PDP:Plasma Display Panel)是目前市场上主流的平板显示器之一,它具有显示效果好、寿命长、视角广、响应快、厚......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
提出了用复合栅控二极管新技术提取MOS/SOI器件界面陷阱沿沟道横向分布的原理,给出了具体的测试步骤和方法.在此基础上,对具有体接......
法国半导体公司Soitec与上海Industrial μTechnology研究机构（SITRI）共同签署一项协议，将采用基于Soitec公司衬底材料和相关技术的先......
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具......
In recent years, novel structure SOI materials have been fabricated successfully. Also, SiGeOI (SGOI)material, an ideal ......
为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,......
意法·爱立信推出低功耗的高集成LTE智能手机平台。NovaThorTML8580ModAp是一款支持LTE多模的智能手机平台，它整合了全套的无线......
本文在分析薄膜全耗尽ＳＯＩ器件特殊物理效应的基础上，建立了可细致处理饱和区工作特性的准二维电流模型。该模型包括了场效应载流子迁移......
英飞凌科技股份公司日前宣布，其用于智能电话和平板电脑的射频开关的出货量已经突破10亿大关。英飞凌为智能电话提供了多种类型的天......
利用SIMOX材料制作智能卡是一种新的技术。简要介绍了一种智能卡的发展及应用，并描述了利用SOI（SIMOX）技术制作的一种新型智能卡芯片，......
本文描述了一种新奇的SOI技术:中子辐照单晶硅形成半绝缘材料,经激光扫描退火恢复表面层的半导体特性并由此组成了SOI结构.在这个......
高性能、成本有效的SOI 技术在抗辐射电子学的短期应用和亚微米VLSI 的长期应用方面是重要的.本文概述了在这些应用方面,SOI 技术......
NovaThor L8580 ModAp是一款支持LTE多模的智能手机平台，它整合了全套的无线连接（connectivity）功能，并且拥有速率可达2．5GHz的eQuadTM......
本文介绍了传统的体硅技术在亚微米VLSI中所遇到的限制,超薄膜SOI技术(Ultrathin Silicon-On-Insulator Technology)在小尺寸器件......
在光学系统中,SOI(绝缘体上的半导体)上制备集成的MMI(多模干涉)型光耦合器已成为一种愈来愈引人注目的无源器件.由于Si和SiO2之间......
Soitec公司在SEMICON China 2008上表示，整个行业使用绝缘硅（Silicon on Insulator，SOI）设计和制造的迅速发展，为中国芯片制造业创造了......
