双层静电梳齿结构相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

双层静电梳齿结构相关论文

梳齿式MEMS光开关的分析与改进

本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静......

学位

MEMS光开关双层静电梳齿结构气膜梳齿负反馈电容

MEMS光开关阵列的设计与应用

针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS（micro electro mechanical system,微机电系统）光开关阵列,用于控制防空导......

期刊

防空导弹系统反应时间 MEMS光开关阵列双层静电梳齿结构气膜阻尼

看过本文同时还关注