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负反馈电容相关论文
梳齿式MEMS光开关的分析与改进
本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静......
学位
MEMS光开关
双层静电梳齿结构
气膜梳齿
负反馈电容
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