双岛结构相关论文
自20世纪50年代,半导体硅的压阻特性被发现以来,硅基压力传感器就被广泛研究,而压阻式硅压力传感器更是很早就被商品化并大量使用......
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中......
本言语用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟，根据模拟计算的应力分布规律，优化多晶硅应变电阻的设计，弥......
论述了一种新型多晶压力传感器。它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制......
为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软......
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术，传感器采用的材料是双面抛学的（１００）晶面硅片，制作中还利用了半导体......
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结......
