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为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律,确定力敏电阻的最佳布局,进一步提高了传感器的灵敏度。这种压力传感器兼具温度特性好、灵敏度高、线性度好等综合性能。
基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器
【摘 要】
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为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律,确定力敏电阻
【机 构】
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莆田学院机电工程学院,厦门大学航空航天学院
【出 处】
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莆田学院学报
【发表日期】
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2018年2期
【基金项目】
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福建省科技厅引导性（重点）项目（2017H032）, 莆田学院激光精密加工工程技术研究中心开放基金项目（2016JZA014）
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