双材料微悬臂梁阵列相关论文
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.......
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料......
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本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺......
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜......
