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反外延片相关论文
PIN光电探测器用反外延片工艺研究
创新性使用反外延法工艺,介绍了适用于制备近红外波段PIN 光电探测器的硅外延材料的研制工艺,在区熔单晶抛光片上进行重掺导电层和......
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PIN光电探测器
反外延片
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