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选C2分子和一定量的H原子作为沉积源,Ar离子作为辅助沉积粒子,采用分子动力学（MD）方法模拟研究离子束辅助沉积（IBAD）生长类金刚石（DLC）膜......
含氢类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC)的超低摩擦特性与其沉积制备过程密切相关.采用分子动力学模拟的方法,计算了以CH3基团为......
