喷淋臂摆动方式相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

喷淋臂摆动方式相关论文

卡盘转速及喷淋臂摆动方式对晶片腐蚀性能的影响

随着晶片尺寸的不断增大,精准控制单片湿法腐蚀速率及非均匀性变得越来越具有挑战性。主要研究了300 mm单片湿法腐蚀工艺过程中,喷......

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晶片卡盘单片湿法腐蚀卡盘转速喷淋臂摆动方式腐蚀速率均匀性腐蚀非均匀性湿法腐蚀腐蚀性能

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