基片托盘设计相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

基片托盘设计相关论文

面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究

针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘......

期刊

单晶金刚石同质外延生长微波等离子体化学气相沉积基片托盘设计高功率密度

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