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多孔介电薄膜相关论文
旋涂法制备PPSQ基多孔介电薄膜及其性能研究
...
会议
旋涂
法制备
多孔介电薄膜
微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究
非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使其成为Cu/超低k多孔介电薄膜结构的扩散阻挡层优异候选材料。我们以SiH_4(80%Ar稀释)......
学位
微波电子回旋共振等离子体
非晶碳化硅
红外光谱
低介电常数
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