微波电子回旋共振等离子体相关论文
利用SiH4(80%Ar稀释)和CH4作为源气体,通过改变源气体流量比、基片温度、沉积气压等参量,使用微波电子回旋共振化学气相沉积法生长......
非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使它可用作超低k多孔介电薄膜的扩散阻挡层。主要改变了SiH4（80％Ar稀释）和CH4气体流量比R（R......
利用静电探针和光强标定的发射光谱（AOES）研究了CHF3、CHF3／C6H6气体ECR放电等离子体的特性及氟化非晶碳薄膜（a-C：F）的结构与等离子体空......
研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统.该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波,由Nd-Fe-B永磁磁钢形成高强......
