多晶硅纳米薄膜相关论文
从二十世纪70年代起，多晶硅薄膜的压阻特性开始受到关注，并被用于研制力学量传感器。在随后二十年左右的时间里，多晶硅压阻理论得到了......
多品硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。本文给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。确定弹性膜片结......
多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻和温度特性,作为压敏电阻材料能够用于压阻式传感器的制备.为了提高传感器的稳定性并保证长期高效性......
用低压化学气相淀积（LPCVD）法淀积了膜厚为60-250nm的多晶硅纳米薄膜，研究了膜厚和掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜电学特性的影响。结合扫......
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多......
为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软......
多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻特性,为提高其在传感器应用中的稳定性和可靠性,对这种薄膜的钝化层结构进行了研究.基于压力传感芯......
利用低压化学气相沉积（LPCVD）技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜，并对样品的压阻特性进行了测试．采用最小二乘法对实验数据进行......
本文制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜,研究了掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性的影响。利用低压化学气相淀积法制......
硅基压阻式压力传感器应用广泛,在传感器中具有十分重要的地位。该传感器的发展方向是小型化、高灵敏度、良好温度特性和集成化,为......
多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻......
