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大型还原炉相关论文

48对棒大型还原炉设计开发与应用研究

还原炉结构、运行工艺参数密切影响着还原炉电耗和多晶硅质量，优化还原炉结构和气相沉积过程的运行工艺参数是降低多晶硅还原炉电耗......

期刊

大型还原炉 48对棒多晶硅模拟优化运行参数

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