大束流低能注入相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

大束流低能注入相关论文

离子注入技术现状与发展趋势

离子注入制程已成为器件设计的最前端工作,现在更被视为实现32 nm和22 nm晶体管制程的推动要素.器件漏电流、浅结面制作,器件尺寸......

期刊

32 nm节点器件漏电流控制超浅结注入大束流低能注入单晶片注入机械扫描

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