夹持电压相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

夹持电压相关论文

干法刻蚀中静电吸盘对产品良率的影响

在VLSI制造过程中,静电吸盘（ESC）以其良好的热传导性及较少的缺陷产生率已广泛应用于ETCH、CVD等制程中。文章以LAM Research公司TCP......

期刊

静电吸盘双极性夹持电压偏压补偿冷却气体

多晶硅刻蚀中静电吸盘对产品的影响及其寿命的提高

在超大规模集成电路制造过程中,静电吸盘（ESC）以其良好的热传导性及较少的缺陷产生率已经广泛应用于ETCH,CVD等制造工艺中。ESC除了......

学位

静电吸盘夹持电压偏压补偿漏电流使用寿命

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