平面热线式相关硕士博士期刊学术论文

利用射频溅射在硅衬底上制作Ｐｔ膜电极，以溶胶－凝胶法制作的低阻ＳｎＯｘ为敏感层制成平面热线式气敏元件。研究了工艺条件，掺杂行为及其对气敏特......