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利用射频溅射在硅衬底上制作Ｐｔ膜电极，以溶胶－凝胶法制作的低阻ＳｎＯｘ为敏感层制成平面热线式气敏元件。研究了工艺条件，掺杂行为及其对气敏特性的影响，掺Ｓｂ及Ｐｔ石棉在７００℃烧结１．５ｈ的元件对Ｈ２，ＮＨ３灵敏度较高。
硅基热线式气敏元件及其特性
【摘 要】
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利用射频溅射在硅衬底上制作Ｐｔ膜电极，以溶胶－凝胶法制作的低阻ＳｎＯｘ为敏感层制成平面热线式气敏元件。研究了工艺条件，掺杂行为及其对气敏特性的影响，掺Ｓｂ及Ｐｔ石棉在７００℃烧结１．５ｈ的元件对Ｈ２，ＮＨ３灵敏度较
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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