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氮化硅反应炉内弥散相介质温度分布研究
基于商用CFD计算软件模拟了氮化硅反应炉内的温度场。分析了壁面热流对温度场和产物质量浓度的影响,研究了光学厚度和散射模型对温......
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氮化硅
温度场
产物质量浓度
弥散相介质
silicon nitride temperature field mass - density of product
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