弧等离子体相关硕士博士期刊学术论文

利用脉冲多弧离子镀膜技术，以石墨为阴极镀制的无定形碳膜，其化学结构可用Ｒａｍａｎ光谱仪进行分析。薄膜的硬度和电阻率物理特性，可用常规方法......