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介绍了6自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法,弹性导轨及柔性铰链在微动工作台中的应用.这种形式的微动工作台结构简单紧......
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推导了平行四边形弹性导轨在外力作用下产生变形的计算公式。从理论上比较并通过具体设计验证了公式的正确性。这些公式对任何尺寸......
介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱......