微分霍耳相关硕士博士期刊学术论文

微分霍耳相关论文

用反应离子刻蚀（RIE）剥层的微分霍耳法（DHE）对等离子体掺杂、离子注入制备的Si超浅p＋n结进行了电学表征.通过对超浅p＋n结样品RIE剥层的DH......

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