微加工工艺相关论文
心血管疾病是影响人类健康的重大疾病之一,其具有发病快、死亡率高的特点。红细胞分布宽度（Red Blood Cell Distribution Width,RDW......
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.......
非制冷红外焦平面阵列的微桥结构在微加工工艺中,由于温度的剧烈变化,在薄膜中产生热应力而引起微桥的变形,将对器件产生不利影响......
随着人类对于量子世界认识的不断深入,许多量子力学的基本规则可以运用到人类社会的生产生活中。量子计算就是运用量子力学的基本......
人类早在几百年前,便踏上了飞行器的设计之路,而扑翼微飞行器也已在多年前成为了世界各地研究的对象。然而至今为止,人类对微飞行......
微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器......
纳米线冷阴极具有优越的场发射特性，在场发射显示器(FED)中有重要的应用，受到了研究者的广泛关注。
本博士论文首先介绍了场发......
光纤传感具有常规检测技术不可比拟的优势，代表新一代传感器的发展趋势。在光纤上加工微结构来制备新型光纤传感器成为一种有效手段......
为了检测空气中特定气体的浓度,以满足不同工业环境的要求,本文在国家重点基础研究(973计划)项目“高性能电子产品设计制造精微化......
在发动机气缸中,缸套-活塞环是最核心的部件之一,它的润滑、磨损和摩擦等问题对发动机的性能有着重要的影响,既对发动机的性能和工......
随着科学技术的发展,科研工作者对“电子”的研究也在不断深入。对于电子的自由度之一——电荷的深入研究,带动了传统微电子学的发......
在MEMS工艺中,反应离子刻蚀、等离子增强化学气相淀积和深反应离子刻蚀等工艺广泛应用于制造多功能结构和器件,因为MEMS器件的性能......
基于MEMS技术的微陀螺具有体积小、重量轻、价格低、寿命长和易于批量生产等诸多优点,有望部分取代传统陀螺。然而目前普遍精度较......
薄膜体声波谐振器(FBAR)技术在无线通信射频（RF）前端滤波器应用中发挥着重要的作用，随着移动终端设备的尺寸不断缩小、功能更加复杂以......
仿生微扑翼飞行器是应用在军事和民用等多种领域的研究热点之一,微扑翼飞行器具有飞行灵活多变、易于携带、隐蔽性好等特点,所以是......
基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微......
为解决核聚变激光靶球诊断气体充气问题及满足充气微孔良好的堵胶工艺性,基于扫描探针显微镜的金刚石探针为工具,采用接触力扫描方......
基底集成的柔性微电极阵列（MEAs）从一个全新的角度演绎了植入式神经系统，对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚......
对目前细胞微图型化的概念与适用微加工工艺尤其是软刻技术作了探讨,其中包括微压印法、微流体图型化技术与漏印板图型化方法等.进......
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基......
石墨烯—二维碳原子晶体,是由英国科学家在2004年发现的碳基新结构,它的出现弥补了碳基体系在二维结构上的空白,并掀起了石墨烯研......
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高......
针对微加工工艺过程造成的残余应力,文中提出了喇曼在线测量方法,并对最常用的三种微加工工艺：淀积、腐蚀或刻蚀及键合进行了喇曼在......
设计了一种多级低压电渗流微泵。该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成。芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同......
在科技发展日新月异的今天,基于磁畴壁器件的相关研究正逐渐引起人们的关注。与磁畴壁相关的新型器件已经在诸如新型存储器、磁传......
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介绍一种采用水基工质的电化学微型推进器.工质水在电解腔被电解生成氢气和氧气,混合气体在燃烧腔内被点燃之后,爆燃产生高温高压......
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳......
本文提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计和制作方法。该种陀螺采用MEMS微加工工艺制作而成。首先,采......
银具有电导率高、电位稳定、反射率高、杨氏模量低等特点,在MEMS器件中可用作电极、反光板、高Q值电容和电感等,这都需要对银膜进......
近年来,微执行器作为一种典型的多学科交叉的应用领域,引起了越来越多的学者的广泛关注。微执行器具有体积小、成本低、惯性小、响......
细胞分选为单细胞研究提供了基础手段,其在生命科学和临床医学研究中具有重要价值。与传统的流式细胞分选方法相比,基于微流控技术......
采用聚对二甲苯（parylene）作为基底，通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计，并采用微机电加工工艺（ME......
激光点火是把激光作为一种“精密”点火源,利用激光的高能量特性,通过传输介质起爆或点燃火工品的技术。在激光点火系统的传能光路......
MEMS器件中,硅微压力传感器是应用最为广泛的一种。随着科学技术的发展,对新一代传感器的要求也越来越高。本文设计的压阻式微压力......
光栅光阀是一种基于微光机电系统的器件,具有调制精度高、运行速度快、能经受较高光强等优点,很适合作为激光扫描系统控制器件。目......
MEMS(微机电系统,Micro Electro Mechanical System)惯性加速度计是微惯性测量组合(MIMU, Micro Inertial Measurement Unit)的关......
MEMS技术的迅猛发展，给传统光学器件的设计和制造带来了全新的思路。基于MEMS的光学器件的设计及制造近几年层出不穷，但同时传统光学......
随着科学技术的不断发展和人类生活水平的不断提高,近年来出现了各种各样的传感器。高精度位移传感器是一种新型的传感器,相对于其......
基于谐振结构的MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）在消费电子品和高速无线网络领域展露了焕然一新的操作体验和迅猛......
利用锆钛酸铅（PZT）的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与......
