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微晶SiGe(μc-SiGe)薄膜相关论文

VHF-PECVD法制备微晶SiGe薄膜及太阳电池

以Si2H6和GeF4为源气体,用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术在不同衬底温度和功率条件下制备了SiGe薄膜材料。用喇曼......

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微晶SiGe(μc-SiGe)薄膜太阳能电池甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD) 喇曼光谱 microcrystalline SiGe （μ

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