扫描光刻系统相关论文
提出一种有限长迭代学习控制策略,用来减小扫描光刻系统的预扫描时间。首先给出扫描光刻系统的结构和扫描轨迹,并提取系统在扫描方......
光刻技术的进步是推动半导体产品向大容量低成本方向发展的关键。随着集成电路的特征尺寸逐渐减小、集成度逐渐增加,对光刻机性能......
扫描光刻系统是重要的半导体制造装备，为了提高扫描光刻系统的动态跟踪性能和产率，本文引入迭代学习控制方法。根据扫描光刻系统的特......
