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晶面倾斜相关论文
GaN横向外延中晶面倾斜的形成机制
采用双晶X射线衍射(DC-XRD)研究蓝宝石(0001)衬底上横向外延GaN层中晶面倾斜的形成原因.发现横向生长区的GaN在垂直掩模方向上朝SiNx掩......
期刊
GaN
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横向外延GaN结晶质量的同步辐射研究
采用同步辐射X光衍射技术研究了α-Al2O3(0001)衬底上横向外延GaN的结构特征.发现横向生长区的GaN(0001)晶面与窗口区的GaN(0001)......
期刊
结晶质量
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