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有效机电耦合系数(Keff2)相关论文
1.8GHz AlN薄膜体声波谐振器的研制
提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振......
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薄膜体声波谐振器
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有效机电耦合系数(Keff2)
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