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高k栅极电介质材料与Si纳米晶体管(续)
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随着科学技术的进步和集成电路市场日益扩大的需求 ,硅基集成电路的集成度越来越高 ,而集成度的提高是以其核心器件金属氧化物半导......
期刊
硅基集成电路
高介电常数氧化物材料
栅极介电层
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