栅界面层相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

栅界面层相关论文

非晶硅TFT栅界面层氮化硅薄膜性能的研究

采用傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪和YAF-5000M等测试仪器，对薄膜晶体栅界面层的键结构及含量、光学性能、物理性能以及晶体管导电......

期刊

栅界面层氮化硅光禁带宽度介电常数导通电流

a-Si TFT用氮化硅薄膜的制备及其性能研究

非晶氢化氮化硅（a-SiNx：H，简称氮化硅）薄膜具有优良的物理性能和光电性能，在微电子学、光电子学及太阳能电池等领域有广泛的应用，特别是......

学位

氮化硅薄膜 PECVD 栅绝缘层栅界面层钝化层

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