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凹槽栅场板结构的AlGaN/GaN HEMT特性分析
本文对比了研制的(a)无场调制板结构,(b)有场调制板结构但无凹槽栅,(c)结合场调制板结构和凹槽栅工艺三种AlGaN/GaNHEMT的动态I-V......
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槽栅工艺
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