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气相反应动力学相关论文
氮化镓MOCVD气相反应动力学分析及数值模拟研究
金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长GaN基化合物半导体薄膜,是制备大功率微电子器件和LED等光电器件的关键工艺。在MOCVD生长GaN过程......
学位
氮化镓
反应路径
加合反应
金属有机化学气相沉积
气相反应动力学
数值模拟
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