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纳米WO3薄膜的光学性质及氢敏特性研究
采用磁控直流溅射法制备出纳米WO3薄膜,在N2气中进行退火处理。采用分光光度计、XRD等对退火前后的WO3薄膜进行了光学特性的分析。......
期刊
直流磁控溅射
WO3薄膜
退火
光学性质
氢敏效应
DC magnetron sputtering
WO3 films
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optical
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