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氧化镁衬底相关论文
MgO衬底NbNAlNNbN多层膜的制备
本文主要讨论磁控溅射设备制备的NbN/AlN/NbN三层结构的技术工艺,为制备All-NbN的NbN/AlN/NbNSIS隧道结作准备.在室温下利用直流磁......
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超导电性
射频磁控溅射
SIS隧道结
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