氧氩比相关论文
为了有效提高柔性薄膜晶体管的电学性能,室温条件下,在聚酰亚胺(PI)衬底上使用HfO2、Ta2O5两种高介电常数材料相结合的叠层结构代替单......
为了有效提高薄膜晶体管的电学性能,采用了高介电常数的材料代替传统的SiO2作为栅介质.相比传统的SiO2薄膜,Ta2O5薄膜具有较大的介......
在室温及不同的氧氩比条件下,采用射频磁控溅射Ag层和直流磁控溅射SnO2层,在载玻片衬底上制备出了SnO2/Ag/SnO2多层薄膜.用霍尔效......
采用直流脉冲磁控反应溅射技术,在不同氧氩比(GFR)条件下玻璃衬底上制备了一系列掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子......
ITO薄膜由于具有良好的光电特性而广泛应用于液晶显示器中,尤其在扭曲向列(TN)型显示模式中更为重要.本文利用直流磁控溅射技术......
在室温下使用射频磁控溅射技术,在表面长有100 nm厚的氧化硅绝缘层的硅衬底上制备了MoZnO薄膜及其薄膜晶体管(TFTs).研究了溅射过......
探讨氧氩比对ZnO薄膜晶体结构和导电性能的影响。利用直流反应磁控溅射法在硅衬底上沉积C轴择优取向的ZnO晶体薄膜,在其他反应条件......
不同氧氩比对于ZnO薄膜的结构及其荧光发光的影响。随着氧氩比的增加,ZnO薄膜(002)面的衍射峰明显增高,且变得更尖锐,薄膜的晶化得到......
摘要:V2O5是一种具有热致相变特性的新型非线性光学材料,被广泛应用于激光致盲防护领域。V2O5薄膜的表面粗糙度是影响其性能的重要因......
利用直流反应磁控溅射法在硅衬底上沉积C轴择优取向的ZnO晶体薄膜,在其他反应条件不变的情况下,改变氩氧比,测量了样品的晶体结构和导......
氧化锌作为一种良好的发光材料广泛应用于太阳能电池、气敏传感器、紫外探测器、光电器件、透明电极等诸多领域。文章应用磁控溅射......
摘要:用直流磁控溅射制备TiO2薄膜,分析了氧氩比和溅射功率两项制备参数对退火后形成的锐钛矿二氧化钛薄膜亲水性的影响。实验结果表......
为了研制高阻隔性和适合微波加热的包装材料,在PET基底上采用射频电源,以纯Al为靶,氧气为反应气体,高纯氩气为等离子体,磁控溅射Al......
为优化ZnO:Ti复合薄膜制备工艺,采用射频磁控溅射法在不同氧氩比条件下沉积ZnO:Ti复合薄膜,得到的样品经由EDS能谱仪检测Ti掺杂质量分......
采用磁控溅射,通过氧氩比的调制在玻璃衬底上沉积了单斜结构的Cu O薄膜,并重点研究了氧氩比对薄膜微结构及光学吸收边的影响。研究......
在室温及不同的氧氩比条件下,采用射频磁控溅射Ag层和直流磁控溅射SnO2层,在载玻片衬底上制备出了SnO2/Ag/SnO2多层薄膜.用霍尔效......
海水中的溶解氧是海洋生命活动不可缺少的物质,其浓度主要受物理过程和生物过程控制。氩(Ar)是惰性气体,海水中的溶解Ar浓度仅受物......
利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下在石英玻璃基底上制备Cu2O薄膜,研究了O......
利用中频脉冲磁控溅射工艺制备ITO薄膜,研究了在衬靶间距为60 mm、衬底温度为350℃、溅射功率为120 W、溅射气压为0.2 Pa的条件下,......
近些年来,锂离子电池在人们的生产和生活中扮演重要角色,它能量密度高、方便携带、使用寿命长,服务了我们生活的方方面面。而随着......
采用磁控溅射制备了氧化铋薄膜,研究了制备工艺对薄膜的结构、微观形貌和光学性能的影响,并对样品进行了光催化性能评价。结果表明......
文章基于脉冲直流磁控溅射技术,在普通钠钙玻璃上沉积ZnO薄膜,主要研究了沉积过程中基底温度和O2/(O2+Ar)流量比对ZnO薄膜的结构,表......