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氮碳原子比相关论文
用非平衡磁控溅射法制备CNx薄膜
利用非平衡磁控溅射法,用一对石墨溅射靶,以N2,Ar为工作气体,在Si(1 0 0)衬底上溅射生长CNx薄膜.X光电子能谱分析表明薄膜中的C,N原子以sp......
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β-C3N4
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C_3N_4 unbalanced magnetron
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