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湿-干氧氧化相关论文
低分压湿—干氧氧化及其电击穿特性
本文提出了一种低分压的湿-干氧氧化方法。利用该方法生长的薄氧化膜,具有比干氧氧化低的缺陷密度和优越的电击穿特性,而且固定电......
期刊
氧化膜
低分压
湿-干氧氧化
电击穿
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