激光化学气相沉积法相关论文
基于石墨烯优异的电子、机械、热学、光学性能以及广阔的应用前景,自2004年被发现以来迅速成为材料学与物理学领域的研究热门。目前......
3C-SiC因具有高耐热性(升华温度3000 K)、高硬度(莫氏硬度9.5级,仅次于金刚石)、高电子迁移率(1000 cm-2(V·s)-1)、高饱和电子漂移速率(2.......
给出激光化学气相沉积法制备a-Si3N4纳米粒子的原理和经验公式,在特定工艺参数下获得平均粒径为10nm左右的优良a-Si3N4纳米粒子。红外吸收和拉曼光谱研......
为了维修TFT-LCD电路缺陷,利用激光化学气相沉积法(LCVD)沉积钨薄膜,讨论成膜参数对基底损伤、钨薄膜电阻率的影响。在空气氛围下,......
给出激光化学气相沉积法制备a-Si3N4的纳米粒子的原理和经验公式,在特定工艺参数下获得平均粒径为10nm左右的优良a-Si3N4纳米粒子,红外吸收和拉曼光谱研......
用激光化学蒸汽沉积(CVD)法合成了SiC-Si3N4复合纳米颗粒,并用X射线衍射(XRD),透射电子显微镜(TEM)和电子自磁共振磁力计(ESR)分子了试料的晶......
在液晶显示器的制造过程中,源极信号线断开的状况难以避免,其原因多种多样,工厂防治手段需因地制宜。本文从当前主流的G8.5代TFT-L......
学位
采用激光化学气相沉积法在(100)取向Al2O3衬底上制备了第二代高温超导YBa2Cu3O(7-δ)(YBCO)薄膜,研究了前驱体Y(DPM)3、Ba(DPM)2、Cu(DPM)2的蒸......